第二讲 介绍第2章 外延，包括外延概述、汽相外延、分子束外延、其它外延、外延层缺陷及检测共五节内容

第二讲 作业

1、单选题：
​VPE制备n+/p-Si，结果pn结进入了衬底，这是什么原因造成的：‍
选项：
A: 自掺杂效应
B: 互扩散效应
C: 衬底表面没清洗干净的缘故。
D: 掺杂气体不纯
答案: 【 互扩散效应】

2、多选题：
‌在VPE、MBE、SEG、LPE、SPE、UHV/CVD、MOCVD中，哪种外延方法能生长杂质陡变分布的薄外延层？‍
选项：
A: MBE
B: VPE、LPE
C:

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